本发明提供一种能够降低使用于检查装置中的冷却装置的消耗能量的冷却装置的运转方法以及检查装置。本发明的冷却装置的运转方法是以下方法：在能够通过冷却装置(13)和加热装置(14)进行温度调节的晶圆卡盘(11)上载置半导体晶圆(W)，在控制装置(15)的控制下进行半导体晶圆(W)的低温检查以及半导体晶圆(W)的高温检查时，在控制装置(15)的控制下控制对晶圆卡盘(11)进行冷却的冷却装置，在进行低温检查时通过控制装置(15)使冷却装置(13)连续地运转，在进行高温检查时，通过控制装置(15)使冷却装置(13)至少与高温检查的开始相应地停止一次。