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一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法
编号:S000015534 刷新日期: 有效日期至:2020-10-19 浏览:1660 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 黑龙江 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种基于PMMA及其它聚合物材质的微流控芯片的键合方法,涉及一种微流控芯片的键合方法。本发明的键合方法包括如下步骤:把预制的两块吸波加热基板分别与芯片的上下两个表面贴合,然后放入密闭容器内,用高频电磁波在密闭容器内辐射加热,微波功率为400-1000W,键合界面最高瞬时温度范围控制在95-200℃,键合时间为30-200S。相比国内外其它聚合物微流控芯片的键合方法,这种新型的方法需要的设备简单,工艺成本低、步骤少,易于在聚合物材质微流控芯片的键合领域推广应用。
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