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发光二极管的制备方法
编号:S000019605 刷新日期: 有效日期至:2020-10-05 浏览:1660 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种发光二极管的制备方法,其包括以下步骤:提供一具有第一外延生长面的基底;在外延生长面设置一碳纳米管层;在第一外延生长面垂直生长本征半导体层;去除所述碳纳米管层,得到表面具有纳米微结构的外延衬底;将所述外延衬底具有纳米微结构的表面依次生长一第一半导体层、一活性层及一第二半导体层;刻蚀第二半导体层及活性层的部分区域,以暴露部分第一半导体层;以及,形成一第一电极与第一半导体层电连接,同时形成一第二电极与第二半导体层电连接。本发明发光二极管的制备方法工艺简单。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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