用户登录
用户注册
English
技术供应
>技术供应
>技术需求
>协作成员
>专家委员
>新闻资讯
首页
中心简介
新闻资讯
工作动态
行业资讯
特别关注
热点视频
技术供应
技术需求
协作成员
专家智库
专家咨询委员会
数字展会
成功案例
配套服务
下载中心
《中阿科技论坛》
您当前的位置:
首页
>
供应列表
> 技术详情
互连结构的形成方法
编号:S000020257
刷新日期:
有效日期至:
2020-10-29
浏览:
2129
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
合作研发
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明提供一种互连结构的形成方法,包括:对所述半导体基底执行第一平坦化工艺,所述第一平坦化工艺以衬里层为停止层,去除停止层上的部分导电层,直至剩余的导电层与所述衬里层齐平;对执行第一平坦化工艺后的半导体基底执行第二平坦化工艺,所述第二平坦化工艺以氧化物硬掩模为停止层,去除氧化物硬掩模上的衬里层、金属硬掩模及部分导电层;对执行第二平坦化工艺后的半导体基底执行第三平坦化工艺,所述第三平坦化工艺以层间介质层为停止层,去除层间介质层上的氧化物硬掩模和部分导电层,直至剩余的导电层与所述层间介质层齐平。本发明互连结构的形成方法具有较强的工艺可控性。
分享到:
申请对接
收藏此供应
推荐给好友
穿越到手机
联系方式
在线QQ:
机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
查看地图
China-Arab States Technology Transfer Center
认证方式:
相似供应
Terfenol-D薄片驱动的磁致伸缩式复合悬臂梁
所在区域:中国
转让类型:
合作研发
汽车驱动桥整体复合内高压流量式胀形工艺
所在区域:中国
转让类型:
科技服务
振动磨损试验台
所在区域:中国
转让类型:
合作研发
防腐蚀清洁手套
所在区域:中国
转让类型:
技术转让