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一种太阳能电池硅片清洗液及其使用方法
编号:S000021151 刷新日期: 有效日期至:2020-10-31 浏览:1720 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 湖南 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明属于半导体制造工艺中的硅片清洗技术领域,具体提供了一种太阳能电池硅片清洗液及使用方法。该太阳能电池硅片清洗液由硝酸、氢氟酸及去离子水混合配置而成;使得清洗液中硝酸的质量百分浓度为40%~60%,氢氟酸的质量百分浓度为0.025%~0.08%,余量为去离子水。该硅片清洗液的使用方法是:先用去离子水浸泡清洗硅片,再用该清洗液浸泡清洗。本发明不仅可以有效的去除硅片表面的有机、无机污染,而且可以去除附着在硅片表面的金属、非金属颗粒,从而提高了太阳能电池片的优质率与效率。本发明的清洗液配方简单,清洗效果好,且清洗方法简单,清洗时间短,清洗需要的温度不高。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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