一种离子束减速装置，离子束减速装置主要用于低能大束流离子注入机离子束的一级减速，该装置包括过渡连接块(1)，连接块(2)，减速电极防护板(3)；减速电极基板(4)，终端电极(5)，终端电极侧板(6)，绝缘陶瓷(7)，聚集电极侧板(8)，聚集电极(9)，聚集电极安装板(10)，抑制电极(11)，地电极(12)，地电极安装板(13)，抑制电极安装板(14)，抑制电极安装条(15)，聚集电极安装条(16)，抑制电极短接条(17)，接线柱(18)，聚焦电极短接条(19)，其特征在于：对离子束进行减速，用以获得低能的离子束流。本发明涉及离子注入装置，隶属于半导体制造领域。