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一种离子束减速装置
编号:S000021462 刷新日期: 有效日期至:2020-11-29 浏览:1898 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
一种离子束减速装置,离子束减速装置主要用于低能大束流离子注入机离子束的一级减速,该装置包括过渡连接块(1),连接块(2),减速电极防护板(3);减速电极基板(4),终端电极(5),终端电极侧板(6),绝缘陶瓷(7),聚集电极侧板(8),聚集电极(9),聚集电极安装板(10),抑制电极(11),地电极(12),地电极安装板(13),抑制电极安装板(14),抑制电极安装条(15),聚集电极安装条(16),抑制电极短接条(17),接线柱(18),聚焦电极短接条(19),其特征在于:对离子束进行减速,用以获得低能的离子束流。本发明涉及离子注入装置,隶属于半导体制造领域。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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