本发明提供了一种靶材用高纯钛板的制备方法，包括以下步骤：一、将海绵钛颗粒压制成电极块，然后将电极块焊接成自耗电极；二、将自耗电极经真空自耗电弧熔炼得到铸锭；三、将铸锭进行第一加热处理；四、将铸锭进行镦拔锻造，得到板坯；五、将板坯进行第二加热处理；六、将板坯进行轧制，得到半成品板材；七、将半成品板材经退火、矫直和表面修磨处理，得到靶材用高纯钛板。采用本发明制备的靶材用高纯钛板的质量纯度不小于99.8%，平均晶粒尺寸小于100μm，且晶粒尺寸均匀一致，满足溅射靶材的相关技术要求，可广泛应用于电子器件、半导体、平面显示等溅射膜领域。