本发明涉及一种单芯片微机电系统及其制备方法，所述方法制备得到的单芯片微机电系统，所述单芯片微机电系统中在一个芯片上同时包括压力传感器和加速度传感器。本发明为了解决现有技术中存在的问题，将两种芯片的工艺流程整合在一起，利用工艺整合将加速度传感器和电容式压力传感器放在一颗芯片里，并且有结构共用，结构共用部分包括去除牺牲层形成的空腔、质量块材料、空腔上导电材料等，一次流片就可以得到同时具有加速度传感器和电容式压力传感器，极大地降低了成本，而且芯片整合会带来电路板面积的变小。