本发明公开了在光伏电池上沉积钝化层的方法。该方法包括沉积包括至少双层的钝化层，该双层进一步包括氧化硅层和氮化硅层。用于沉积氧化硅层或氮化硅层的硅前体分别选自Si(OR¹)_xR²_y族或SiR_xH_y族、硅烷及其组合，其中x+y＝4，y≠4，R¹为C₁-C₈烷基，R²选自氢、C₁-C₈烷基和NR^*₃，R为C₁-C₈烷基或NR^*₃；其中R^*可以是氢或C₁-C₈烷基，C₁-C₈烷基可以是直链、支链或环状的，配体是饱和的、不饱和的或芳香族的(对于环状烷基)。还公开了包含所述钝化层的光伏器件。