基于纳米粒子介电泳组装的有序纳米微结构制造方法，先制造平面平行微电极，再制造具有光刻胶导向结构的微电极系统，再进行银纳米粒子介电泳组装，最后进行有序的纳米微结构形成，本发明通过对银纳米粒子悬浮液施加高频交流电，使其在具有光刻胶导向作用下的微电极系统中，进行正介电泳力的组装，形成有序银纳米微结构的方法，可以有效的实现低成本，又简单易行地实现按照人的意志来调控图案多样、有序度高、稳定性好的自组装纳米微结构，可以广泛的应用于光电子器件、光伏器件等。