本发明涉及一种微波部件二次电子倍增仿真中粒子合并方法，首先建立微波部件的三维几何模型并建立粒子模拟区域进行二次电子倍增效应数值模拟，然后设置粒子合并阈值并在粒子模拟区域的总粒子数目大于粒子合并阈值后进行粒子合并，通过将粒子按照速度相空间进行分类并按能量大小每四个粒子分为一个集合，在每个集合中将四个粒子合并为两个，并对剩余粒子进行补偿实现粒子模拟区域所有粒子的合并。本发明方法保证了合并前后粒子能量守恒与相空间分布一致，可在微波部件二次电子倍增仿真中多次应用，实现计算效率的成倍提高，非常适用于在一定硬件条件下大幅度提高大功率微波部件微放电、低气压放电数值分析效率。