本发明公开了一种半导体臭氧传感器测量电路。其特征在于：由单片机控制电路（1）、测量电极电流源电路（2）、测量电极电压测量电路（3）、半导体臭氧传感器（4）和加热电极供电电路（5）组成；测量电极电流源电路（2）输入端与单片机控制电路（1）数模转换器DAC接口相连，输出端与半导体臭氧传感器（4）测量电极（4a）引脚1、3相连；测量电极电压测量电路（3）与半导体臭氧传感器（4）测量电极（4a）引脚1、3相连，输出端与单片机控制电路（1）模数转换器ADC接口相连。本发明的有益效果是可以实现半导体臭氧浓度传感器测量电极的恒流供电，使传感器测量电极工作在稳定的电流下，实现半导体臭氧传感器数字化定量检测。