本发明提供了一种用于检测溶液中的含活性位点的蛋白质或其配体的半导体装置，所述装置包括至少一个绝缘层或半绝缘层；至少一个导电半导体层；处于上层顶部上的两个导电垫，其与所述至少一个导电半导体层形成电接触以使得电流可以在它们之间在离所述装置表面的限定距离处流动；保护性分子层，其被制造在所述上层的顶部上并且保护所述层免于腐蚀；以及连接至所述保护性分子层的所述配体或含活性位点的蛋白质。当在所述两个导电垫之间施加恒定电位时，所述配体或含活性位点的蛋白质分别暴露于包含所述含活性位点的蛋白质或配体的溶液引起通过所述装置的电流变化。所述半导体装置可以看作基于掺杂或未掺杂的GaAs堆叠结构的分子控制的半导体电阻器(MOCSER)蛋白质传感器。所述保护性分子层保护所述GaAs免于在水环境中受侵蚀。