本发明属于半导体材料与器件领域，特别涉及一种硫化锌半导体薄膜的简单高效制备方法。(1)合成黄原酸锌单源前驱体；(2)制备单源黄原酸锌前驱体溶液；(3)制备硫化锌薄膜。本发明工艺简单易操作，原料廉价易得，所制备的硫化锌薄膜结晶质量高，成分易控制，外观上连续，均匀，致密，表面平整光亮，且与衬底的结合牢固可靠，也可在形状复杂的衬底上制备薄膜；通过上述工艺可以避免通常的多步复杂工艺、工艺周期长或高真空昂贵设备等，成本低，适合工业化大规模生产，所制备的硫化锌薄膜可应用于太阳能电池、平板显示器和发光二极管等光电器件中。