本发明公开了一种基于表面光电压法的半导体材料参数测试仪及测试方法，该测试仪包括箱体、悬臂、测量探头、样品台，测量探头内包括红外激光器、感应电极片。脉冲光源驱动器位于箱体内，待测半导体材料样品放置在样品台上，测量探头在待测样品的正上方，感应电极片与电荷放大器之间通过同轴电缆线连接，红外激光器与脉冲光源驱动器之间通过两芯屏蔽线连接。该方法是：红外激光器发射的脉冲光垂直照射在样品上，感应电极片接收样品表面微弱光电压产生的静电荷，并传送至电荷放大器的输入端，经信号处理电路处理后，由液晶显示屏显示待测样品的导电类型及电阻率/方阻数值。本发明具有体积小、重量轻、功耗小、成本低的优点。