本发明公开了一种半导体制造设备的机台性能匹配方法和系统。系统包括多个加工机台、错误侦测分类系统、产品质量测试仪、数据收集引擎与处理系统，多个加工机台执行相同的产品制造工艺，加工同种规格的产品；错误侦测分类系统监控工艺过程中所有加工机台的生产过程；并向数据收集引擎与处理系统提供所有监控的过程变量数据；产品质量测试仪抽样检测工艺过程中已经加工产品的质量，并向数据收集引擎与处理系统提供质量数据。本发明通过对同一工艺流程中多个加工机台的性能匹配，迅速找到影响品质差的机台的关键过程变量，为现场工程师提供机台维修时的参数调整方案，使得不同机台间的产品能有几乎相同的质量。