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开关管及其制备方法、显示面板
编号:S000019717 刷新日期: 有效日期至:2020-10-28 浏览:1709 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种开关管及其制备方法、显示面板。开关管包括:栅极电极;覆盖栅极电极的栅极绝缘层;形成于栅极绝缘层上的氧化物半导体层;形成于氧化物半导体层上的第一保护层;与氧化物半导体层电连接的源/漏极电极;以及覆盖源/漏极电极的第二保护层;其中,所述第一保护层的单位体积氢原子含量小于所述栅极绝缘层的单位体积氢原子含量。并且所述栅极绝缘层的单位体积氢原子含量小于所述第二保护层的单位体积氢原子含量。通过上述方式,本发明能够抑制开关管内半导体层的氧原子与外部氢原子结合,提高器件性能和稳定性。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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