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集成LED芯片及其制作方法
编号:S000019818 刷新日期: 有效日期至:2020-12-21 浏览:1697 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 湖南 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种集成LED芯片及其制作方法。该方法包括以下步骤:S1、在衬底上生长外延层,形成晶片基体;S2、采用激光切割的方式在晶片基体上形成用于隔离相邻单胞的隔离槽,隔离槽的底部延伸至晶片基体的衬底处;S3、去除部分第二半导体层和发光层,露出位于其下的第一半导体层;S4、在第二半导体层的表面上形成透明导电膜;S5、在由第一半导体层、第二半导体层和发光层叠加形成的侧壁上、以及隔离槽中形成钝化层;S6、在由隔离槽隔离的各单胞之间形成金属连接线,形成集成LED芯片。本发明集成LED芯片及其制作方法,通过采用激光切割工艺形成隔离槽简化了制作工艺、提高了生产效率和增加了芯片的有效发光面积。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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