本发明属于半导体与器件领域，具体涉及一种Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜的制备方法。本发明的技术方案是：称取Ni(CH₃COO)₂·4H₂O，溶于乙二醇甲醚中，加入摩尔比为（3-15）：1的RuCl₃·3H₂O和Al(NO₃)₃·9H₂O得到Ru-Al共掺杂的镍溶胶，同时称取SnCl₂·2H₂O溶于无水乙醇中，得到锡溶胶，将Ru-Al共掺杂的镍溶胶与锡溶胶混合，在空气中静置陈化，对静置陈化后的Ru-Al共掺杂的镍锡复合溶胶用匀胶机进行旋涂镀膜，最后进行热处理，得到Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜。本发明是采用溶胶凝胶法制备Ru-Al共掺杂镍锡复合薄膜，沉积设备简单、成本低，易控制薄膜组分，而且作为半导体元件具有良好的可重复电阻开关特性和记忆特性。