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> 技术详情
一种提高静态随机存储器读出冗余度的方法
编号:S000020851
刷新日期:
有效日期至:
2020-09-26
浏览:
2241
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明公开了一种提高静态随机存储器读出冗余度的方法,其中,包括下列步骤:提供一包括NMOS晶体管、PMOS晶体管和控制管的半导体衬底;在所述PMOS区域和所述控制管区域的源极和漏极分别进行选择性刻蚀,去除掉所述源极和漏极的硅,在所述PMOS区域的源极和漏极形成第一凹进区,在所述控制管区域的源极和漏极形成第二凹进区;在所述第一凹进区和所述第二凹进区内分别淀积锗化硅。本发明在不增加现有工艺步骤的同时,降低了控制管器件的载流子迁移率,从而增大了控制管的等效电阻,进而在读取过程中,降低了节点的电位,从而提高了随机存储器的读出冗余度。
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机构地址:
No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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