本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种监控光刻设备光路稳定性的装置。本发明提出一种监控光刻设备光路稳定性的装置，通过在光刻设备的照明光路装置和投影光路装置上设置水平仪，从而实现实时监测光刻设备中的光路发生偏移的偏移量，以对光刻机进行及时的调整，有效避免因光路偏移量过大造成的停机监测状况，有效的提高光路偏移量监测的效率，进而降低生产成本。