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> 技术详情
一种检测晶背缺陷的装置及方法
编号:S000020987
刷新日期:
有效日期至:
2021-01-05
浏览:
2171
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
所在区域:
中国 -
技术领域:
智能制造 - 装备制造业
转让类型:
技术转让
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
本发明涉及半导体制造领域,尤其涉及一种检测晶背缺陷的装置及方法。本发明提出一种检测晶背缺陷的装置及方法,通过设置支撑翻转装置代替原有的载物台,以对进行检测分析的晶圆进行支撑及翻转,从而实现了对晶圆的晶面及晶背的检测,由于翻转的过程使用机械翻转代替原来的手工翻转,从而能有效的避免人为失误操作,有效的提高了产品的良率和降低缺陷检测分析的成本。
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No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia
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认证方式:
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