本发明公开了一种集成式多道能量收集微机械结构，包括晶圆衬底和能量收集单元；所述晶圆衬底的上表面上生长有下电极；所述能量收集单元为由多层薄膜构成的平面结构，由下至上依次包括第一绝缘介质层、驻极体薄膜层、第二绝缘介质层和导电电极层，所述能量收集单元通过立柱固定在晶圆衬底的上方、并形成悬臂梁结构；所述导电电极层为电磁波能量吸收提供低损耗载体通路，同时所述导电电极层与下电极形成电容结构。本发明结构基于集成思想，通过微机械制造手段将多种能量收集方式进行单片集成，可以适用于多种场合，具有存活系数高等优点；且本发明的原理和结构简单，可基于传统的半导体加工工艺制备，生产成本低，能够大面积制备。