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用于RF-LDMOS器件的新型栅结构
编号:S000021344 刷新日期: 有效日期至:2021-01-04 浏览:1645 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种用于RF-LDMOS器件的新型栅结构,本发明在传统的栅结构上覆盖了一层栅极扩展层(其材料可以是重掺杂的半导体,例如多晶硅,或者金属硅化物或者甚至是金属),栅的宽度取决于LDMOS的最小栅长,这一长度是随着工艺特征尺度的减小而不断减小的,但是在相同栅宽情况下,LDMOS的栅电阻就会不断增加。本发明在栅上面增加了一层栅极扩展层,其宽度可以比较宽,其能够减小在相同栅宽情况下的栅电阻,从而提高功率增益。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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