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基于微机械砷化镓基的悬臂梁频率检测器及检测方法
编号:S000021636 刷新日期: 有效日期至:2020-10-03 浏览:1650 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 江苏 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁频率检测器及检测方法,该频率检测器包括功率分配器(PD)、移相器(PS)、低通滤波器(F)和砷化镓金属半导体场效应管,功率分配器,用于接收待侧微波信号,并将该待侧微波信号分成幅度、相位相同的两个支路信号。本发明提供的检测方法包括如下步骤,当在下拉电极(8)加载直流偏置时,悬臂梁(6)被下拉且与栅极(4)接触时,两路微波信号同时加载到栅极(4)上,从而改变源极(2)漏极(3)之间的饱和电流大小;通过一个电容和滤波器之后,检测源极(2)漏极(3)饱和电流的大小最终实现频率的测量。本发明低直流功耗,易测量。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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