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大角度多波段红外高反射膜系的制备方法
编号:S000021749 刷新日期: 有效日期至:2020-10-28 浏览:2180 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开的一种大角度多波段红外高反射膜的膜系和制备方法,利用本方法可以实现近红外和远红外光学波段宽范围大角度入射的高反射膜的膜系设计和制备工艺,提高膜层的牢固性能力,及野外恶劣环境的使用寿命。本发明通过下述技术方案予以实现:(1)以ZnS或石英玻璃材料为基底,用膜系设计公式计算每层膜的光学厚度值;(2)清洁被镀基底;(3)加温烘烤基底;(4)用离子源在镀膜前和镀膜过程中轰击基底;(5)将ZnSe、Al2O3和YbF3三种膜料放入旋转电子枪蒸发源坩锅中,根据上述(1)的公式顺序和厚度值用光学真空镀膜机完成镀膜;(6)退火处理。本发明解决了在红外材料ZnS基底或石英基底上使用非金属和非半导体膜层材料镀膜不牢和较难达到高反射率的工艺难题。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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