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采用金属有机化合物气相外延技术生长非对称电子储蓄层高亮度发光二极管的方法
编号:S000022377 刷新日期: 有效日期至:2020-11-08 浏览:1752 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种发光二极管的制作方法,公开了一种采用金属有机化合物气相外延技术生长非对称电子储蓄层高亮度发光二极管的方法,改善有源区晶体质量,提高发光器件内量子效率。本发明在金属有机化合物气相外延反应室中将蓝宝石Al2O3衬底在氢气气氛下,三维生长20~30纳米的GaN缓冲层,再在1000~1500℃下生长2~4微米厚n-GaN层;在氮气气氛下,生长n型非对称In组分渐变的电子注入层,在氢气氛下,在950~1040℃生长p型AlGaN电子阻挡层和p-GaN层。本发明所涉及工艺流程均在外延生长中完成,不需要附加芯片工艺流程,具有工艺流程相对简单,可重复性好,附加成本低等优点。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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