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一种掩膜板及其制作方法
编号:S000022895 刷新日期: 有效日期至:2020-11-12 浏览:1708 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种掩膜板及其制作方法,所述掩膜板应用在有机发光二极管显示装置的真空蒸镀工艺中,包括:掩膜框;固定在掩膜框上的掩膜,掩膜上包括多个掩膜图案块,掩膜图案块包括贯穿所述掩膜的通孔;其中,掩膜上朝向所述掩膜框的表面还包括位于所述掩膜图案块外其他区域的支撑条,支撑条的厚度大于0.03mm。由于在掩膜图案块外的区域设置了支撑条,支撑条的厚度大于所述掩膜图案块所在区域的厚度,能够在一定程度上为掩膜图案块提供支撑力,从而增强掩膜板的机械强度,避免掩膜板在应力的作用下发生弯曲。同时,本发明还提供一种采用多次刻蚀制作上述掩膜板的方法,能够保证有机材料的蒸镀质量。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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