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一种PECVD镀膜系统
编号:S000025640 刷新日期: 有效日期至:2020-10-28 浏览:2184 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 广东 技术领域:信息通信 - 电子信息及通讯
转让类型:技术转让
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明公开了一种PECVD镀膜系统,包括工艺系统、装卸系统及阀门机构;工艺系统包括工艺腔体及工艺反应室;工艺反应室设置在工艺腔体内;装卸系统包括装卸腔体及传输机械手;传输机械手滑动设置在装卸腔体与工艺腔体之间;阀门机构设置在工艺腔体与装卸腔体之间,用于工艺腔体与装卸腔体之间的连通或隔离,通过阀门机构使得传输机械手可以在腔体之间往复运动,同时保证了腔体之间的互相连通以及真空环境的相互独立;装卸腔体同时具备装载腔和中转传输腔的功能,能满足基片上下料以及在腔体之间相互传输的功能;由于只有两个腔体,结构更为简单,使得设备成本低,安装维护简单方便,传输结构简单便易,对机械精度要求低。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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