本发明涉及一种低碳低硅钢制造方法，通过RH真空处理装置脱碳脱氧来保证低碳低硅钢中低碳、低硅含量的要求，来实现提高炼钢炉终点碳含量，减少后吹，降低钢水的氧化性，减少脱氧合金化成本，提高钢的纯净度；根据钢的质量要求，钢水炉外精炼可采用RH真空处理或RH真空处理+LF炉精炼两种方式。利用真空自然脱碳脱氧，减少了因加铝脱氧生产的脆性Al₂O₃夹杂物，提高了钢的洁净度，且炼钢炉出钢至RH真空处理过程有效地控制钢水增硅，钢中的C、Si易控制且稳定，因脱氧产生的Al₂O₃夹杂物大幅度减少，且进行了合理的Ca变形处理，钢水的可浇性好，避免了连铸浇注该类钢种时水口结瘤的问题。