本发明公开了一种制备多孔性前趋层及吸收层薄膜平坦化的方法，使用工作气氛压力大于10mtorr，及镀率小于10nm/mins低功率溅镀，使得前驱物形成多孔性的薄膜，并使薄膜表面粗糙度大大降低(<100nm)，达到了最佳平坦度，避免了薄膜与基板产生剥离和裂痕；且可以使硒化或硫化后的吸收层(CIGS)表面粗度降低，有利于后续缓冲层及光窗层的制作，明显提升了CIGS薄膜太阳能电池的效率。