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一种(220)取向的铜铟镓硒薄膜制备方法
编号:S000032918 刷新日期: 有效日期至:2020-12-14 浏览:1734 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 四川 技术领域:能源与环保 - 太阳能利用
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明涉及一种具有(220)取向的铜铟镓硒薄膜制备方法,其技术方案主要是:A:清洗基片,B:预溅射;C:溅射沉积薄膜:保持溅射功率为5W/cm2,基片温度为320-380℃,并将氩气气压调节为1.0~4.0Pa进行10分钟的溅射;之后将氩气气压降低至0.5Pa,并在基片上施加20~30V的偏压,进行2小时的溅射,即得到具有(220)取向的铜铟镓硒薄膜。该方法用磁控溅射方法制备出的CIGS薄膜取向为(220),用作铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池的吸收层,能有效降低晶界处的“电子-空穴”复合,提高电池转换效率。且其制备工艺简单、成本低,制备过程中无毒无污染,适合于工业化生产。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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