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插入式气动真空输送阀
编号:S000020227 刷新日期: 有效日期至:2020-10-14 浏览:1508 对接邀请:0
意向价格: 面议
所在区域:中国 - 技术领域:智能制造 - 装备制造业
转让类型:合作研发
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述
本发明提供一种插入式气动真空输送阀,包括阀体部件、阀盖部件、阀芯部件、气缸部件和轴封部件;阀体部件具有开口侧和封合侧,其腔体装载阀芯部件、气缸部件和轴封部件,其上安装有阀盖部件,将腔体密封;阀盖部件包括一长形阀盖和位于阀盖两端的导向柱,导向柱对阀盖起定位、导向和同步作用;阀芯部件位于阀体部件的腔体内,能独立上下运动,对阀进行开、关密封动作;气缸部件的数量为多个,平均分布于阀体部件的腔体内,对阀提供开、关的驱动力并对阀的开、关进行缓冲;轴封部件连接于阀芯部件和气缸部件之间,将气缸部件的阀杆与大气隔开而密封。本发明能够应用于半导体工业设备的真空系统中,实现自动化控制开关、输送板件和工艺过程。
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机构地址:No.490, S.Ning'an Str., Yinchuan,Ningxia 查看地图
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