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基于数字孪生的磁控化学机械抛光工艺及应用技术
编号:S000073074 刷新日期: 有效日期至:2030-01-01 浏览:1 对接邀请:0
意向价格: 面议
行业分类: 科学研究和技术服务业
所在区域:中国 - 湖南 技术领域:人工智能 - 其它
转让类型:科技服务
专利类型:发明专利 技术成熟度:可以量产
供应描述

  该技术聚焦晶片前道工艺超精密抛光,目标为消除微小缺陷并实现纳米级平整度(如蓝宝石、单晶硅等材料)。

技术提供单位:湘潭大学

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联系方式
联系人:宁少荣
电话: 0951-8735172
邮箱:292382975@qq.com
机构地址:宁夏银川市金凤区新昌西路紫荆花商务中心B座四楼 查看地图
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