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> 技术详情
基于数字孪生的磁控化学机械抛光工艺及应用技术
编号:S000073074
刷新日期:
有效日期至:
2030-01-01
浏览:
1
次
对接邀请:
0
次
意向价格:
面议
行业分类:
科学研究和技术服务业
所在区域:
中国 - 湖南
技术领域:
人工智能 - 其它
转让类型:
科技服务
专利类型:
发明专利
技术成熟度:
可以量产
供应描述
该技术聚焦晶片前道工艺超精密抛光,目标为消除微小缺陷并实现纳米级平整度(如蓝宝石、单晶硅等材料)。
技术提供单位:湘潭大学
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联系方式
联系人:宁少荣
电话: 0951-8735172
邮箱:292382975@qq.com
机构地址:
宁夏银川市金凤区新昌西路紫荆花商务中心B座四楼
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认证方式:
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