该团队因硅基CMOS技术趋极限,利用碳纳米管构建高性能FET器件。建成全球首条碳基传感芯片示范线,通过聚合物筛选高纯碳管形成网络状薄膜,实现碳纳米管FET晶圆级量产,年产能100万只。更换栅极材料可检测多类信号,并支持多种传感器及集成电路在片集成。 技术提供单位:湘潭大学