本发明公开了一种薄膜太阳能电池背反电极，包括衬底，衬底表面沉积有金属薄膜，金属薄膜表面沉积有网格式的第一透明导电薄膜，第一透明导电薄膜上沉积有第二透明导电薄膜。本发明通过在金属薄膜表面依次沉积有网格式的第一透明导电薄膜和第二透明导电薄膜，形成了均匀的类金字塔结构，有效改善了电池内部光生载流子向背电极的传输和背电极的横向导电性，预防了网格式的第一透明导电薄膜的沟槽内部金属层与电池主体的直接接触，减少扩散，有效克服了背反电极在高雾度值时，电阻率偏大的缺点，能够使背反电极在具有优良光学性能的同时兼顾很好的电学性能，提高薄膜太阳能电池效率。